language

STREAM 600

Установка STREAM 600 предназначена для серийного выпуска эпитаксиальных структур на основе материалов А3N на подложках диаметром 100-150 мм.

Проект реализован при поддержке Минпромторга России.

МАКСИМАЛЬНАЯ ЗАГРУЗКА


  • 6ר100мм
  • 4ר150мм

Конфигурация газодинамики, а также держатель пластин планетарного типа обеспечивают высокую однородность выращиваемых эпитаксиальных слоев.