STREAM 600 Установка STREAM 600 предназначена для серийного выпуска эпитаксиальных структур на основе материалов А3N на подложках диаметром 100-150 мм.
Конфигурация газодинамики, а также держатель пластин планетарного типа обеспечивают высокую однородность выращиваемых эпитаксиальных слоев.
|
||
