Базовая версия установки STE35, сконфигурированной для роста материалов А3В5 на подложках до Ø100мм, была разработана и введена в эксплуатацию в 2008 году. На сегодняшний день более 5 систем данной конфигурации эксплуатируется российскими исследовательскими центрами и отечественными предприятиями радиоэлектронной отрасли. Длительная опытная эксплуатация в различных условиях, а также тесная кооперация с конечными пользователями, позволила специалистам ЗАО «НТО» создать новую усовершенствованную конструкцию установки.

Теперь в основе обновленной системы лежит принципиально новая модернизированная ростовая камера, что позволило решить сразу несколько ключевых задач:

а) уменьшить количество портов для подачи азота. Для удобства обслуживания теперь все они расположены на крышке камеры;

б) объединить две криопанели в единую для повышения эффективности потребления жидкого азота;

в) увеличить количество портов для установки источников материалов;

г) реализовать возможность полного визуального контроля за источниками материалов и заслонками за счет увеличения количества смотровых окон.

---

Компания ЗАО «НТО» с 2001 года известна на российском и зарубежном рынках под брендом SemiTEq. Это единственный производитель систем МЛЭ в России, которому удалось наладить серийное производство сложных сверхвысоковакуумных установок МЛЭ и получить признание на мировом рынке. Системы SemiTEq сегодня эксплуатируются в лабораториях Канады, Индии, Республике Беларусь. За более чем 10 лет работы компании удалось успешно реализовать более 20 сложных комплексных проектов по поставке и технологическому запуску систем молекулярно-лучевой эпитаксии. В основе конкурентного преимущества оборудования SemiTEq лежит комплексный подход к разработке и поставке оборудования вместе с базовыми технологическими процессами, которые позволяют реализовать концепцию быстрого технологического запуска на предприятии. Специалисты с более чем 20-летним опытом разрабатывают уникальные решения под конкретные задачи пользователя, а в основе любой выпускаемой системы всегда лежат собственные патенты и ноу-хау компании.