Установка быстрой температурной обработки STE RTA150

Главная Каталог продукции Установки быстрой термической обработки и отжига

STE RTP150 Установка быстрой температурной обработки в вакууме и управляемой газовой среде

Установки STE RTP150 предназначены для долговременной обработки пластин в различных средах при температурах нагрева до 1300°C.

МАКСИМАЛЬНАЯ ЗАГРУЗКА

1×Ø150мм

КАМЕРА-РЕАКТОР

Нагреватель на основе системы галогеновых ламп

Тепловыравнивающий графитовый или кварцевый столик

Предельное остаточное давление в реакторе <10мм рт.ст.

Разделение рабочих объемов нагревателя и отжигаемого образца

Максимальная температура нагрева до 1300^°С

Контроль температуры нагрева с помощью термопары и пирометра

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ

Автоматизация технологического процесса

Программирование и сохранение технологических рецептов

Однородность нагрева ±2%
Максимальная скорость нагрева:
-30^°С/с с графитовым столиком
-150^°С/с с кварцевым столиком
Высокая воспроизводимость параметров от процесса к процессу
Программирование нескольких стадий процесса отжига