STE RTA100 Установка быстрого температурного отжига в инертной среде Установки STE RTA100 специально разработаны для проведения кратковременных процессов с максимальной температурой на пластине до 1000°C в инертной среде. Установки широко применяются для отжига вплавных омических контактов в составе отечественных производственных линий по выпуску электронной компонентной базы на основе материалов А3B5.
График воспроизводимости режима нагрева
Однородность нагрева на пластине Ø100мм |
||||