STE D700M Установка магнетронного распыления

Главная Каталог продукции Установки физического осаждения Универсальная технологическая платформа для физического осаждения

Установка STE D700M, созданная на базе универсальной технологической платформы для физического осаждения
STE D700, комплектуется магнетронными источниками и предназначена для осаждения широкого спектра многокомпонентных покрытий.

Конфигурация без шлюзовой камеры:

42×Ø2"
20×Ø3"
12×Ø100мм
6×Ø150мм

Конфигурация со шлюзовой камерой:*

6×Ø2"
3×Ø3"
1×Ø100мм
1×Ø150мм
1×Ø200мм

_____________________

*опция

КАМЕРА НАПЫЛЕНИЯ

Внутреннее наполнение конфигурируется согласно требованиям заказчика
Карусельное или конфокальное исполнение
Испарители с прямым и косвенным охлаждением мишени
Ионная очистка
Камера напыления дверного типа
Интегрированное водяное охлаждение
Держатель пластин купольного типа
Плоский держатель пластин карусельного типа при оснащении шлюзовой камерой*

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

Система откачки, сконфигурированная с учетом применения установки (турбомолекулярный, форвакуумный спиральный, криогенный насосы)

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ

Автоматизация технологического процесса
Программирование и сохранение технологических рецептов

_____________________

*опция

Регулируемое расстояние от испарителя до пластины
Скорость вращения держателя пластин до 20об/мин
Ионный источник
Система защитных экранов
Нагрев пластин