STE D700T Установка терморезистивного напыления

Главная Каталог продукции Установки физического осаждения Универсальная технологическая платформа для физического осаждения

Установка STE D700T, созданная на базе универсальной технологической платформы для физического осаждения
STE D700, комплектуется терморезистивными испарителями различного типа и обеспечивает решение максимально широкого спектра задач пользователей по напылению тонких пленок на различные подложки.

Конфигурация без шлюзовой камеры:

42×Ø2"
20×Ø3"
12×Ø100мм
6×Ø150мм

Конфигурация со шлюзовой камерой:*

6×Ø2"
3×Ø3"
1×Ø100мм
1×Ø150мм
1×Ø200мм

_____________________

*опция

КАМЕРА НАПЫЛЕНИЯ

Внутреннее наполнение конфигурируется согласно требованиям заказчика
Терморезистивные испарители различного типа
Образец-свидетель с термосопротивлением
Камера напыления дверного типа
Интегрированное водяное охлаждение
Держатель пластин купольного типа
Плоский держатель пластин карусельного типа при оснащении шлюзовой камерой*

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

Система откачки, сконфигурированная с учетом применения установки (турбомолекулярный, форвакуумный спиральный, криогенный насосы)

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ

Автоматизация технологического процесса
Программирование и сохранение технологических рецептов

_____________________

*опция

Регулируемое расстояние от испарителя до пластины
Скорость вращения держателя пластин до 20об/мин
Ионный источник
Система защитных экранов
Нагрев пластин