language

STE D700E Установка электронно-лучевого напыления

Установка STE D700E, созданная на базе универсальной технологической платформы для физического осаждения
STE D700, комплектуется электронно-лучевым испарителем и предназначена для напыления тонких пленок металлов, диэлектриков и полупроводниковых материалов.

Конфигурация без шлюзовой камеры:

  • 42×Ø2"
  • 20×Ø3"
  • 12×Ø100мм
  • 6×Ø150мм

Конфигурация со шлюзовой камерой:*

  • 6×Ø2"
  • 3×Ø3"
  • 1×Ø100мм
  • 1×Ø150мм
  • 1×Ø200мм

_____________________

*опция


КАМЕРА НАПЫЛЕНИЯ


  • До 4×30см3/ 6×15смрабочих ячеек испарителя
  • Система цифрового сканирования электронного луча для равномерного прогрева мишени
  • Ионная очистка
  • Камера напыления дверного типа
  • Интегрированное водяное охлаждение
  • Держатель пластин купольного типа
  • Плоский держатель пластин карусельного типа при оснащении шлюзовой камерой*


ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

 

  • Система откачки, сконфигурированная с учетом применения установки (турбомолекулярный, форвакуумный спиральный, криогенный насосы)

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ

 

  • Автоматизация технологического процесса
  • Программирование и сохранение технологических рецептов

_____________________

 

*опция

 

  • Возможность оснащения шлюзовой камерой*
  • Регулируемое расстояние от испарителя до пластины
  • Скорость вращения держателя пластин до 20об/мин
  • Ионный источник
  • Система защитных экранов 
  • Нагрев пластин

_____________________

*опция