STE D700E Установка электронно-лучевого напыления Установка STE D700E, созданная на базе универсальной технологической платформы для физического осаждения Конфигурация без шлюзовой камеры:
Конфигурация со шлюзовой камерой:*
_____________________ *опция
_____________________ *опция |
|||||||