Универсальная технологическая платформа для физического осаждения Универсальная технологическая платформа для физического осаждения STE D700 обеспечивает решение максимально широкого спектра задач пользователей по напылению тонких пленок на различные подложки. Платформа может комплектоваться различными испарителями материалов для реализации процессов электронно-лучевого, магнетронного и терморезистивного напыления, а также их комбинациями. Конструкция технологической платформы оптимизированна с учетом необходимости частой смены защитных экранов, интенсивно загрязняемых испаряемыми материалами. Кроме того, предусмотрен легкий доступ к кварцевым резонаторам толщиномеров. |
|