Технология субмикронного затвора на GaN-DHFET Примером использования комплекса оборудования SemiTEq может служить разработанная ЗАО "Светлана-Рост" технология субмикронного затвора на GaN-DHFET. STE3N2 – рост ГС DHFET GaN Обратный ток затвор - исток при Ugs= -50 V <10µA (Wg=100µm)
|
|