language

Технология субмикронного затвора на GaN-DHFET

Примером использования комплекса оборудования SemiTEq может служить разработанная ЗАО "Светлана-Рост"  технология субмикронного затвора на GaN-DHFET.

STE3N2 – рост ГС DHFET GaN
STE EB71 – Ti/Al/Ni/Au контактная & Ni/Au  затворная металлизация
STE RTA100 – термическое  вжигание контактов
STE ICPe68 – сухое травление мезаизоляции
 

Обратный ток затвор - исток при Ugs= -50 V <10µA (Wg=100µm)