STE RTP150 Установка быстрой температурной обработки Установка для проведения процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в вакууме и управляемой газовой среде Водоохлаждаемая алюминиевая конструкция камеры позволяет проводить процессы температурной обработки при экстремально высоких температурах (до 1300°С) в сочетании с длительным временем отжига.
|
||||