STE RTA100 Установка быстрого температурного отжига Установка для проведения процессов быстрого температурного отжига в инертной среде Установка специально разработана для проведения кратковременных процессов с максимальной температурой на пластине до 1000°С в инертной среде. Установки широко применяются для отжига вплавных омических контактов в состааве отечественных производственных линий по выпуску электронной компонентной базы на основе материалов A3B5.
График воспроизводимости режима нагрева
Однородность нагрева на пластине Ø100мм |
||||