Установки быстрой температурной обработки и отжига позволяют проводить процессы температурной обработки полупроводниковы пластин при экстремальных температурах и обеспечивают высокую воспроизводимость от процесса к процессу.

Установки STE RTP150 предназначены для долговременной обработки пластин в различных средах при температурах нагрева до 1300°C.

Установки STE RTA100 специально разработаны для проведения кратковременных процессов с максимальной температурой на пластине до 1000°C в инертной среде. Установки широко применяются для отжига вплавных омических контактов в составе отечественных производственных линий по выпуску электронной компонентной базы на основе материалов А3B5.