language

STE ICP200E Установка плазмохимического травления в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда

Установка STE ICP200E сконфигурирована на базе платформы STE ICP200 и применима для процессов травления с использованием как хлорной, так и фторной химии. 

В установке реализованы два типа возбуждения плазмы: емкостная (охлаждаемый стол-электрод) и индуктивная
(планарный спиральный ICP электрод).В установке реализованы современные особенности процессов контролируемого плазмохимического травления полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев. 

кнопка

Модернизированный реактор меньшего объема с оптимизированной системой газораспределения позволяет значительно улучшить однородность и воспроизводимость обработки пластин, а также сократить время предварительной откачки. Конструкция реактора оптимальна для проведения процессов с быстрой сменой процессных газов (Bosch-процесс). Удобство проведения регламентных работ повысилось за счет облегчения доступа ко всем внутренним узлам установки. Специальная конструкция рабочего стола обеспечивает эффективное гелиевое охлаждение и контроль температуры пластин для процессов травления.


  • 7×Ø2"
  • 4×Ø3"
  • 1×Ø100мм
  • 1×Ø150мм
  • 1×Ø200мм

КАМЕРА-РЕАКТОР


  • Предельное остаточное давление в реакторе <5∙10-6мм рт.ст.
  • Плоский источник индуктивно-связанной плазмы
  • Мощность ВЧ генератора RIE емкостного электрода до 500 (1000*) Вт
  • Мощность генератора ICP верхнего электрода (13,56 МГц) до 1000 (3000*) Вт
  • Температура пластин регулируется температурой теплоносителя в RIE электроде от -30°C до +80°C (+180°C*)
  • Нагрев стенок реактора


ГАЗОРАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА

 

  • 6 (12*) газовых линий в коррозионно-стойком исполнении, в т.ч. с байпасами
  • Отсечной вакуумный клапан

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

 

  • Система откачки, сконфигурированная с учетом примменения установки (турбомолекулярный, форвакуумный спиральный насосы)

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ

 

  • Автоматизация технологического процесса с периодической попеременной подачей газов
  • Автоматизированная очистка камеры
  • Программирование и сохранение технологических рецептов

 

*опция

  • ±2% неоднородность травления и осаждения на пластинах Ø100мм
  • Оптимизированная система газораспределения
  • Автоматизированная закрузка пластин
  • Проведение технологического процесса по рецепту
  • Инсталляция "через стену" чистого помещения
  • Возможность кассетной загрузки

__________________________________

*опция