language

STE EB71 Автоматизированная установка электронно-лучевого напыления в сверхвысоком вакууме

Установка разрабатывалась в идеологии «lab-to-fab» и ориентирована как на интенсивные исследования и разработки (R&D), так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе производственно-технологической линии

 

 

 

 

 

кнопка

  • 6×∅2”
  • 3×∅3”
  • 1×100мм
  • 1×150мм
  • 1×200мм

КАМЕРА НАПЫЛЕНИЯ

 

  • Предельный вакуум в камере напыления
    до 2∙10-9мм.рт.ст
  • Электронно-лучевой испаритель
  • До 8×7см/4×15см3 рабочих ячеек испарителя
  • Нагрев пластин 
  • Регулируемое расстояние от испарителя до пластины 350÷500мм
  • Водоохлаждаемый кварцевый толщиномер

ШЛЮЗОВАЯ КАМЕРА

 

  • Камера дверного типа
  • Ионный источник*
  • Терморезистивный испаритель*

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

 

  • Система откачки, сконфигурированная с учетом применения установки (ионный, турбомолекулярный, форвакуумный спиральный насосы)

 

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ

 

  • Автоматизация технологического процесса
  • Программирование и сохранение технологических рецептов

*опция

  • Напыление высококачественных тонкопленочных композиций
  • Оптимизация расхода материала за счет изменения расстояния от испарителя до пластины
  • Улучшенная однородность наносимого материала благодаря специально разработанной технологии «маски»