STE EB71 Автоматизированная установка электронно-лучевого напыления в сверхвысоком вакууме
Установка разрабатывалась в идеологии «lab-to-fab» и ориентирована как на интенсивные исследования и разработки (R&D), так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе производственно-технологической линии
Максимальная загрузка
Конфигурация
Ключевые преимущества
6×∅2”
3×∅3”
1×100мм
1×150мм
1×200мм
КАМЕРА НАПЫЛЕНИЯ
Предельный вакуум в камере напыления до 2∙10-9мм.рт.ст
Электронно-лучевой испаритель
До 8×7см3 /4×15см3 рабочих ячеек испарителя
Нагрев пластин
Регулируемое расстояние от испарителя до пластины 350÷500мм
Водоохлаждаемый кварцевый толщиномер
ШЛЮЗОВАЯ КАМЕРА
Камера дверного типа
Ионный источник*
Терморезистивный испаритель*
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА
Система откачки, сконфигурированная с учетом применения установки (ионный, турбомолекулярный, форвакуумный спиральный насосы)
СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ
Автоматизация технологического процесса
Программирование и сохранение технологических рецептов