language

STE MS150 Универсальная исследовательская установка

Гибкая конфигурация и возможность использования различных источников напыления обеспечивает решение широкого спектра исследовательских задач по напылению тонких пленок металлов и диэлектриков. 

  • 1×Ø100мм
  • 1×Ø150мм 
  • 3×Ø150мм при использовании держателя пластин карусельного типа

КАМЕРА НАПЫЛЕНИЯ

 

  • До 3-х магнетронных источников с мишенями до Ø150мм
  • Образец-свидетель*
  • Держатель пластин карусельного типа*
  • Расположение источников на гибком кронштейне с возможностью конфокального напыления
  • Вращение держателя пластин со скоростью до 20 об/мин
  • Нагрев пластин
  • Ионный источник*
  • Терморезистивный испаритель*
  • Водоохлаждаемый кварцевый толщиномер

ШЛЮЗОВАЯ КАМЕРА

 

  • Манипулятор для передачи пластины в камеру напыления
  • Индивидуальная системв откачки 

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

 

  • Турбомолекулярный насос
  • Форвакуумный спиральный насос 

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ

 

  • Автоматизация технологического процесса
  • Программирование и сохранение технологических рецептов

*опция

  • Гибкая конфигурация
  • Конфокальное напыление при расположении источников на гибком кронштейне
  • Напыление на групповую партию пластин при расположении источника перпендикулярно оси вращения карусели