language

Установка магнетронного и терморезистивного испарения STE MS900S

Специальная версия системы для осаждения многокомпонентных покрытий в вакууме методами магнетронного и резистивного испарения на групповую партию пластин


STE MS900S в отличие от базовой версии предусматривает возможность переворота держателя пластин на 180° дляреализации процесса двустороннего напыления. Конструкция системы предусматривает возможность адаптации системы переворота под кассеты Заказчика. Система также рассчитана на установку до 5 магнетронных источников с диаметром мишени 150 мм в комбинации сионным источником для предварительной очистки. Максимальная загрузка подложек размером 60х48 мм – 24 шт.(6 кассет для 4 подложек 60х48 мм), либо 6 кассет для круглых образцов диаметром до 150 мм. Также в специальном исполнении ре-ализуется полностью автоматизиро-ванная версия системы STE MS900, позволяющая встраивание устройства загрузки-выгрузки через стену чистого помещения.