Оборудование планарных технологий  SemiTEq включает в себя 3 основные продуктовые линейки:

• Системы физического осаждения (PVD) для высококачественных тонкопленочных композиций: электронно-лучевое и магнетронное распыление в сверхвысоком вакууме
• Установки плазмохимического травления и осаждения (ICPCVD/PECVD): процессы плазмохимического травления и осаждения диэлектриков (SiNx, SiO₂ и т. д.) в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда
• Установки для проведения процессов быстрой температурной обработки и отжига (RTP & RTA установки): проведение процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в инертной среде и термической обработки в инертной и управляемой газовой среде, кислороде и другой нетоксичной среде.