Южный Федеральный Университет
STE35 - установка молекулярно-лучевой эпитаксии для GaAs на базе установки STE3532, адаптированная к круговому роботу-раздатчику. Поставка осуществлялась в составе комплекса НАНОФАБ 100 ЗАО «НТ-МДТ».
|
|
Южный Федеральный Университет
STE35 - установка молекулярно-лучевой эпитаксии для GaAs на базе установки STE3532, адаптированная к круговому роботу-раздатчику. Поставка осуществлялась в составе комплекса НАНОФАБ 100 ЗАО «НТ-МДТ».
|
|