language

Южный Федеральный Университет



В 2008 году ЗАО "НТО" стал одним из основных интеграторов оборудования в Таганрогский Технологический Институт Южного Федерального Университета. Было успешно инсталлировано 4 установки. Поставка модуля молекулярно-лучевой эпитаксии осуществлялась в рамках поставки комплекса НАНОФАБ 100 совместно с ЗАО "НТ-МДТ".

STE35 - установка молекулярно-лучевой эпитаксии для GaAs на базе установки STE3532, адаптированная к круговому роботу-раздатчику. Поставка осуществлялась в составе комплекса НАНОФАБ 100 ЗАО «НТ-МДТ».


STE ICPe68 - установка плазмохимического травления в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда
STE ICPd81 - установка плазмохимического осаждения диэлектриков
STE RTA70H - установка быстрого термического отжига